概要OUTLINE DESCRIPTIONS:

- COMPLETE DESTRUCTION AND TREATMENT OF HARDZARDOUS GASES AND PFC's ( GREEN HOUSE EFFECT GASES ) WHICH USED IN SEMICONDUCTOR & LCD INDUSTRY USING THERMAL PLASMAS SCRUBBER.

主要针对LCD，Semiconductor以及Solar cell 工厂制程（CVD，PVD等）过程中产生的污染废气处理。

应用APPLICATION

等离子洗尘机PLASMA SCRUBBER :

- HOOK-UP FOR ETCHING, CVD, THIN FLIM PROCESS ON SEMICONDUCTOR WAFER FAB；

主要正对半导体生产中Etching, CVD, Thin Flim等工艺产生的废气处理；

- PRODUCTS : 1 PORT, 2 PORT and 4 PORT PLASMA SCRUBBER；

产品有1，2，4接口来满足不同管路需要。